Fraunhofer-Gesellschaft

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Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen

 
: Grimme, R.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '95 : IPA-Workshop, 12. und 13. Oktober 1995, Stuttgart
Stuttgart, 1995
Fertigungstechnik im Reinraum - Meßtechnisches Praktikum <1995, Stuttgart>
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <1995, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Abnahmemessung; Luft; Partikelmessung; Reinraum; VDI Richtlinie 2083

Abstract
Die Entwicklung der Mikromechanik und Mikroelektronik sowie die Neuerungen auf dem Gebiet der Gen- und Bioverfahrenstechnik erforden die Ausweitung des Einsatzes von Reinräumen. Diese werden unabhängig von ihrem Einsatzgebiet flächenmäßig in verschiedensten Größen erstellt. Das Spektrum reicht von der sogenannten LF-Box bis zum Großreinraum mit einigen tausend Quadratmetern. Allen Reinraumanlagen ist gemein, daß nach der Inbetriebnahme zum Nachweis der spezifizierten Qualität Abnahmemessungen durchgeführt werden müssen. Im vorliegenden Beitrag wird auf die Vorgehensweisen der Abnahmemessungen eingegangen, die sich weitgehend an der VDI-Richtlinie 2083, Blatt 3 orientieren.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-28017.html