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Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen

	Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart: Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '93 Stuttgart, 1993 pp.1-24
	Fertigungstechnik im Reinraum - Meßtechnisches Praktikum <1993, Stuttgart>

	German
	Conference Paper
	Fraunhofer IPA ()
	Airborne Particle; Messen; Partikelmessung; Reinraum; standartization; Teilchen; VDI Richtlinie

Abstract
Cleanromms are used in a wide range of applications. Areas of cleanrooms are from LF-boxes up to a few thousands of qm. All the cleanrooms have to be certified after construction and during their operation. In this paper the certification procedure like VDI-2083-part 3 is discussed.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-28015.html