Fraunhofer-Gesellschaft

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Partikelmessung in Gasen

 
: Dorner, J.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. März 1990 : 27. und 28. März 1990
Stuttgart, 1990
pp.1-15
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop)
Meßtechnisches Praktikum
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
gas; gas-Partikelzähler; Halbleiter; Halbleitertechnologie; Messen; Methode; Partikelmeßtechnik; Reinraum

Abstract
Die immer höheren Anforderungen an die Reinheit von Gasen, nicht nur in der Halbleiterfertigung, erfordert in zunehmendem Maße exaktere Qualifizierung der Gase, Versorungssysteme und Komponenten. Daraus resultiert eine notwendige Verbesserung der Meßgeräte und Meßmethoden. Die drucklos ansaugenden Gas-Partikelzähler wurden für die Reinraumluftmessung entwickelt. Ihr Einsatz im Bereich der Druckgase wurde notwendig, als vor einigen Jahren die Anforderungen an Reinstgase wuchsen, aber keine für diesen Bereich spezifischen Partikelzähler auf dem Markt vorhanden waren. Inzwischen gibt es Geräte, die bei Drücken bis zu 200 bar eingesetzt werden können. Da mit Drucksensoren Inline-Messungen unter Betriebsbedingungen möglich sind, werden sich diese zukünftig immer mehr durchsetzen. Notwendig sind Entwicklungen von Geräten bzw. Sensoren, die für toxische Gase angewendet werden können.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-28014.html