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Partikelmessung in der Luft und Abnahmemessung von Reinräumen

	Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart: Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '96 : IPA-Workshop, 16. und 17. Oktober 1996, Stuttgart Stuttgart, 1996 pp.2-33
	Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <1996, Stuttgart>

	German
	Conference Paper
	Fraunhofer IPA ()
	Abnahmemessung; Mikroelektronik; Mikromechanik; Partikelmessung; Reinraum; Teilchen

Abstract
Die Entwicklung der Mikromechanik und Mikroelektronik sowie die Neuerungen auf dem Gebiet der Gen- und Bioverfahrenstechnik erfordern die Ausweitung des Einsatzes von Reinräumen. Diese werden unabhängig von ihrem Einsatzgebiet flächenmäßig in verschiedensten Größen erstellt. Das Spektrum reicht von der sogenannten LF-Box bis zum Großreinraum mit einigen tausend Quadratmetern. Allen Reinraumanlagen ist gemein, daß nach der Inbetriebnahme zum Nachweis der spezifizierten Qualität Abnahmemessungen durchgeführt werden müssen. Im vorliegenden Beitrag wird auf die Vorgehensweise der Abnahmemessungen eingegangen, die sich weitgehend an der VDI-Richtlinie 2083, Blat 3 orientieren. Weitere abnahmespezifischen Richtlinien und Normen werden auszugsweise mit einbezogen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-28010.html