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1993
Conference Paper
Titel
Partikelmessung auf Oberflächen
Abstract
Übersichtsvortrag über die Beurteilung von Partikelmerkmalen sowie die verschiedenen Möglichkeiten der Detektion auf Oberflächen. Behandelt werden licht- und elektro-optische direkte Verfahren sowie indirekte Verfahren zur Probennahme.