Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Partikelkontamination und Medienversorgung

Particle contamination and media supply
 
: Dorner, J.

Münchener Messe- und Ausstellungsgesellschaft mbH, München:
Halbleiterfertigung '91. Dokumentation
München, 1991 (GME-Fachbericht)
pp.107-115
Halbleiterfertigung <1991, München>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
contamination; Fertigung; filter; Halbleiter; Kontamination; Media Supply; Medienversorgung; particle; particles; qualification; Qualifizierung; semiconductor manufacturing; Teilchen; valve; Ventil

Abstract
Die zukünftig hohen Reinheitsanforderungen an Medien, insbesondere in der Halbleiterfertigung machen eine verbesserte Qualifizierung von Systemen und Komponenten notwendig. Aufgrund der Komplexität erfordert dies ein zwischen den einzelnen Firmen und Branchen durchgängiges Qualitätssystem und zur eindeutigen Qualifizierung von Einzelkomponenten einheitliche Methoden, insbesondere für die Partikelmessungen. Methoden für die Qualifizierung von Reinstgasfiltern und Ventilen werden in dieser Veröffentlichung aufgezeigt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-28006.html