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1991
Conference Paper
Title
Partikelkontamination und Medienversorgung
Other Title
Particle contamination and media supply
Abstract
Die zukünftig hohen Reinheitsanforderungen an Medien, insbesondere in der Halbleiterfertigung machen eine verbesserte Qualifizierung von Systemen und Komponenten notwendig. Aufgrund der Komplexität erfordert dies ein zwischen den einzelnen Firmen und Branchen durchgängiges Qualitätssystem und zur eindeutigen Qualifizierung von Einzelkomponenten einheitliche Methoden, insbesondere für die Partikelmessungen. Methoden für die Qualifizierung von Reinstgasfiltern und Ventilen werden in dieser Veröffentlichung aufgezeigt.
Conference