Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Partikelfrei handeln - Handhabungssysteme in reinen Räumen

 
: Seitz, D.; Geissinger, J.

Productronic 8 (1988), No.9, pp.73-74
ISSN: 0930-1100
German
Journal Article
Fraunhofer IPA ()
clean room; Fertigung; Halbleiter; Handhabungstechnik; handling; manufacturing; planning; Planung; Reinraum; semiconductor

Abstract
Die Fertigung in Reinräumen umfaßt heute neben der Halbleiterfertigung auch mehr und mehr Teilbereiche der Leiterplatten-Fertigung und Geräte-Montage. Dementsprechend gilt es, Anforderungen und Planungskriterien sorgfältig abzuwägen. Welche Rolle die Handhabungs-Technik dabei spielt und wie eine konkrete Lösung für Naßprozesse in der Halbleiterfertigung aussehen kann, zeigt der folgende Beitrag.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-28002.html