Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. PACVD-derived thin films in the system Si-B-C-N
| Chemical vapor deposition: CVD 5 (1999), No.2, pp.61-65 : Ill., Lit.
ISSN: 0948-1907 |
|
| English |
| Journal Article |
| Fraunhofer IGB () |