Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. 3D structures using gray tone lithography
| Behringer, U. ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Mask technology for integrated circuits and micro-components. Lectures held at the GMM-conference
Berlin: VDE-Verlag, 1997 (GMM-Fachbericht 21)
ISBN: 3-8007-2310-7
pp.169 |
| VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (Fachtagung) <1997, München> |
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| English |
| Conference Paper |
| Fraunhofer ISIT ()
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert |