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Fraunhofer-Gesellschaft
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1993
Conference Paper
Title

Optisches Prozessieren

Abstract
Das Projekt beschäftigt sich mit dem Einsatz inkohärenter Strahlung in Verbindung mit fokussierenden oder nichtfokussierenden Spiegelsystemen für verschiedene Hochtemperatur- Prozesse in der Halbleiter- bzw. Solarzellenfertigung. Der Einsatz von Lampen (Halogenglühlampen oder Entladungslampen) als Energiequelle hat eine Reihe von Vorteilen: -nur die Probe wird aufgeheizt, nicht die Umgebung; -höchste Reinheit des Prozesses gewährleistet; -sehr hohe Temperaturen erreichbar; -kurze Aufheiz- und Abkühlraten möglich; -kleinstmöglicher Energieaufwand. Optische Prozeßtechnologie ist bereits weit verbreitet und läuft meist unter der Bezeichnung RTP - Rapid Thermal Processing oder RIP - Rapid Isothermal Processing.
Author(s)
Eyer, Achim
Räuber, A.
Mainwork
Programm Energieforschung und Energietechnologien. Statusreport 1993 Photovoltaik  
Conference
Statusseminar Photovoltaik 1993  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme ISE  
Keyword(s)
  • high temperature

  • lamp

  • mirror

  • rapid isothermal processing

  • rapid thermal processing

  • RIP

  • RTP

  • semiconductor

  • solar cell

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