Fraunhofer-Gesellschaft

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Optisches Prozessieren

 
: Eyer, A.; Räuber, A.

Stubenrauch, F. ; Bundesministerium für Forschung und Technologie -BMFT-, Bonn; Forschungszentrum Jülich, Projektträger Biologie, Energie, Ökologie -BEO-:
Programm Energieforschung und Energietechnologien. Statusreport 1993 Photovoltaik
Jülich: BEO, 1993
pp.8/1-8/11
Statusseminar Photovoltaik <1993, Bad Breisig>
German
Conference Paper
Fraunhofer ISE ()
high temperature; lamp; mirror; rapid isothermal processing; rapid thermal processing; RIP; RTP; semiconductor; solar cell

Abstract
Das Projekt beschäftigt sich mit dem Einsatz inkohärenter Strahlung in Verbindung mit fokussierenden oder nichtfokussierenden Spiegelsystemen für verschiedene Hochtemperatur- Prozesse in der Halbleiter- bzw. Solarzellenfertigung. Der Einsatz von Lampen (Halogenglühlampen oder Entladungslampen) als Energiequelle hat eine Reihe von Vorteilen: -nur die Probe wird aufgeheizt, nicht die Umgebung; -höchste Reinheit des Prozesses gewährleistet; -sehr hohe Temperaturen erreichbar; -kurze Aufheiz- und Abkühlraten möglich; -kleinstmöglicher Energieaufwand. Optische Prozeßtechnologie ist bereits weit verbreitet und läuft meist unter der Bezeichnung RTP - Rapid Thermal Processing oder RIP - Rapid Isothermal Processing.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-27632.html