Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Optimization of critical ion implantation steps in 0.18 mu m CMOS technology

 

Touboul, A.; Danto, Y.; Klein, J.-P.; Grünbacher, H.:
ESSDERC '98
Paris: Ed. Frontieres, 1998
ISBN: 2-86332-234-6
pp.92
European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC) <28, 1998, Bordeaux>
English
Conference Paper
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-27513.html