Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Optimierung von Silicium-Material und dessen Charakterisierung mittels hochauflösender Analytik und elektrischer Meßtechnik

 
: Zielonka, G.; Keller, U.

Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie -IIS-B-, Erlangen:
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 1995
Erlangen, 1996
pp.37-38
German
Book Article
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-27485.html