Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Optical studies of hydrogenated amorphous carbon plasma deposition

 
: Pohl, F.; Koidl, P.; Wagner, J.; Wild, C.

:

Applied Physics Letters 48 (1986), No.2, pp.106-108 : Abb.,Lit.
ISSN: 0003-6951 (Print)
ISSN: 1077-3118
English
Journal Article
Fraunhofer IAF ()
Abscheidung; Plasmacharakterisierung(optisch)

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-27373.html