Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. One-level gray-tone lithography for micro optical components
| AMA Fachverband für Sensorik e.V., Wunstorf:
OPTO '96. 2. Kongress Optische Sensorik, Meßtechnik, Elektronik. Kongreßband
Wunstorf: ACS Organisations GmbH, 1996 |
| Kongreß mit Fachausstellung für Optische Sensorik, Meßtechnik, Elektronik <2, 1996, Leipzig> |
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| Conference Paper |
| Fraunhofer ISIT () |