Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Novel approach to simulation of the silylation bake in the DESIRE process

 
: Weiß, M.; Goethals, M.

:

Microelectronic engineering (1996), No.30, pp.313-316
ISSN: 0167-9317
English
Journal Article
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-26559.html