Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

New concept for applying edge line phase-shifting masks to arbitrary mask layouts

 
: Weiß, M.; Henke, W.

:

Microelectronic engineering (1996), No.30, pp.149-152
ISSN: 0167-9317
English
Journal Article
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-26100.html