Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Ein neues System für eine schnelle, maskenlose optische Mikrolithografie
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Bollerott, M.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Grinewitschus, V.; Grundke, W.; Hille, F.; Kück, H.; Mahdavi, P.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R. | Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1994
Duisburg: IMS, 1995
ISSN: 0932-5824
pp.108-112 |
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| German |
| Book Article |
| Fraunhofer IMS () |