1995
Book Article
Title

Ein neues System für eine schnelle, maskenlose optische Mikrolithografie

Author(s)
Bollerott, M.
Doleschal, W.
Gehner, A.
Grinewitschus, V.
Grundke, W.
Hille, F.
Kück, H.
Mahdavi, P.
Melcher, R.
Paufler, J.
Seltmann, R.
Mainwork
Language
German