Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Neue Entwicklungen im Bereich der Dünnschichttechnologie

 
: Kreutz, E.W.; Gottmann, J.; Klotzbücher, T.

Fraunhofer-Institut für Lasertechnik -ILT-, Aachen:
AKL'98. Aachener Kolloquium für Lasertechnik. Vortragsband
Aachen: Grütter GmbH & Co. KG, 1998
6 pp. : Ill., Lit.
Aachener Kolloquium für Lasertechnik (AKL) <1998, Aachen>
German
Conference Paper
Fraunhofer ILT ()
Funktionsschicht; Funktionswerkstoff; Hochleistungsfunktionsschicht; Materialabtrag; Niederdruckplasma; PVD-Beschichtungsverfahren; Pyrospannung; Targetstöchiometrie; Targetzusammensetzung

Abstract
Wie die Werkstoffe als Struktur- und Funktionswerkstoffe hergestellt werden können, lassen sich auch Schichten auf Substraten als Struktur- und Funktionsschichten abscheiden. Die Strukturschichten sind durch ihre Anforderungen an ihre mechanischen Eigenschaften charakterisiert, wie Festigkeit, Steifigkeit, Verschleiß, spezifisches Gewicht, Härte sowie Beständigkeit gegenüber chemischen Einflüssen. Funktionsschichten zeichnen sich nur durch ihre elektrischen, magnetischen, akustischen, optischen und biologischen Eigenschaften aus. Vor allem die Anforderungen der Informations- und Kommunikationstechnologie, aber auch der Energie-, Verkehrs- und Medizintechnik haben zur Entwicklung von Hochleistungsfunktionsschichten und Schichtsystemen geführt. Diese Funktionsschichten können nur unzureichend durch den jeweiligen Materialwert charakterisiert werden, da die größte Wertschöpfung erst im Endprodukt, im Bauelement, liegt, das den Funktionswerkstoff oft nur in minimalen Mengen enthält.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-25672.html