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Netzwerk- und Verhaltensmodellierung eines mikromechanischen Beschleunigungssensors

 

Laur, R.; John, W.; Groß, W.:
6. Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen im Rahmen des 2. Statusseminars zum BMBF-Verbundprojekt Modellbildung für die Mikrosystemtechnik MIMOSYS. Tagungsband
Paderborn, 1997
pp.23-30
Statusseminar zum Verbundprojekt Modellbildung für die Mikrosystemtechnik <1, 1997, Paderborn>
Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen <6, 1997, Paderborn>
German
Conference Paper
Fraunhofer IIS A ( IIS) ()
Mikrosysteme; Modellierung

Abstract
Am Beispiel eines Beschleunigungssensors wird ein Modellierungsansatz vorgestellt, der auf einem Netzwerkonzept beruht. Die zu modellierende Anordnung wird dabei in Grundelemente aufgeteilt, für die Verhaltensmodelle für einen Schaltungs- und Systemsimulator erstellt werden. Durch Zusammenschalten von Grundelementen können auch komplexere Anordnungen beschrieben werden. Die Ergebnisse von Simulationen des Modells mit dem Systemsimulator SABER liefern eine gute Übereinstimmung mit Simulationen mit dem FEM-Simulator ANSYS. Der Vorteil des Ansatzes besteht u. a. darin, daß systematisch Modelle für die Systemsimulation erstellt werden können.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-25564.html