Fraunhofer-Gesellschaft

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Der Nachweis von Hydriden mit SnOx-Dünnfilmen unterschiedlicher Schichtdicke

 
: Mokwa, W.

Sensoren
München: Franzis-Verlag, 1987
pp.391-394
German
Book Article
Fraunhofer IMS ()
Dünnschichttechnik

Abstract
Für den Nachweis von Arsin wurden SnOx-Dünnfilme unterschiedlicher Schichtdicke präpariert. Die polykristallinen Schichten wurden durch Oxidation von thermisch aufgedampftem Zinn hergestellt und mit Röntgenbeugung charakterisiert. Die Schichten zeigen einen reversiblen Anstieg der Leitfähigkeit bei Zugabe geringer Konzentration von Arsin in Luft. Eine 40 nm dicke Schicht zeigt ein Empfindlichkeitsmaximum bei etwa 650 K. Bei einer 400 nm dicken Schicht liegt das Maximum bei 450 K. Die Reaktion dieser Schichten auf kleine Konzentrationen von Wasserstoff wurde auch untersucht. Bei einer 40 nm dicken Schicht war der Leitfähigkeitsanstieg um einen Faktor 10 kleiner, bei einer 400 nm dicken Schicht um einen Faktor 100.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-25428.html