Monolithisch integrierter Kraftsensor in Standard-CMOS-Technologie

Im Gegensatz zu herkömmlichen Kraftsensorsystemen, bei denen Sensor und Elektronik voneinander getrennt sind, befindet sich der neue Sensor zusammen mit der Auswerteelektronik auf einem ASIC. Der Kraftsensor ist auf diesem ohne Prozeßmodifikation in Standard-CMOS-Technologie integrierbar. Er zeichnet sich durch hohe Empfindlichkeit und Linearität, sowie fehlender Hysterese aus. Bisherige Untersuchungen deuten darauf hin, daß die Klebeverbindung zwischen Chip und Träger selbst bei Dauerbelastung stabil bleibt, so daß das System keine Ausgangssignaländerungen durch mechanische Entspannung aufweist, was jedoch durch weitere Untersuchungen verifiziert werden muß.