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Monolithisch integrierter Drucksensor mit Ausleseelektronik

: Schmidt, M.; Dudaicevs, H.; Machul, O.; Manoli, Y.; Mokwa, W.; Spiegel, E.

	Barke, E. ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik -GME-: Mikroelektronik '95 : Vorträge der GME-Fachtagung Berlin: VDE-Verlag, 1995 (GME-Fachbericht 15) ISBN: 3-8007-2085-X pp.227-232
	VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik (Fachtagung) <1995, Baden-Baden>

	German
	Conference Paper
	Fraunhofer IMS ()
	capacitive transducer; CMOS integrated circuits; CMOS-Schaltung; Drucksensor; integrated circuits; kapazitiver Aufnehmer; micromechanics; Mikromechanik; monolithisch integrierte Schaltung; pressure sensors

Abstract
In diesem Beitrag wird ein kapazitiver Drucksensor mit Ausleseelektronik vorgestellt. Die monolithische Integration des Drucksensors in Oberflächen-Mikroemechanik mit einer Ausleseelektronik basiert auf einen Standard-CMOS-Prozeß. Die druckabhängige Kapazität des Sensors wird in eine analoge Ausgangsspannung gewandelt. Ausgelegt ist das System für einen Temperaturbereich von -20øC bis +120øC.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-24999.html