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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Monolithisch integrierter Drucksensor mit Ausleseelektronik
 
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1995
Conference Paper
Title

Monolithisch integrierter Drucksensor mit Ausleseelektronik

Abstract
In diesem Beitrag wird ein kapazitiver Drucksensor mit Ausleseelektronik vorgestellt. Die monolithische Integration des Drucksensors in Oberflächen-Mikroemechanik mit einer Ausleseelektronik basiert auf einen Standard-CMOS-Prozeß. Die druckabhängige Kapazität des Sensors wird in eine analoge Ausgangsspannung gewandelt. Ausgelegt ist das System für einen Temperaturbereich von -20øC bis +120øC.
Author(s)
Schmidt, M.
Dudaicevs, H.
Machul, O.
Manoli, Y.
Mokwa, W.
Spiegel, E.
Mainwork
Mikroelektronik '95  
Conference
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik (Fachtagung) 1995  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS  
Keyword(s)
  • capacitive transducer

  • CMOS integrated circuits

  • CMOS-Schaltung

  • Drucksensor

  • integrated circuits

  • kapazitiver Aufnehmer

  • micromechanics

  • Mikromechanik

  • monolithisch integrierte Schaltung

  • pressure sensors

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