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1988
Journal Article
Titel
Modulare Fertigungszelle fuer fotolithographische Prozesse
Abstract
Beschreibung des Flexiblen Fotolithographischen Prozesszentrums. Neues Fertigungskonzept fuer die Halbleiterproduktion. Modularisiertes Geraetesystem mit Schnelltauschmoeglichkeit einzelner Prozessmodule. Modularisiertes Medienver-/Entsorgungssystem mit Medienschnellkopplung. Einsatz lokaler Reinraeume mit SMIF-Schnittstellen. Die Module koennen als Einzelgeraet betrieben werden, zu Prozesszellen zusammengefuegt und ueber Boxentransporteinheiten miteinander zu einer vollautomatischen Fertigungslinie verkettet werden. Ein neues Handhabungskonzept bringt hoechste Flexibilitaet im Materialfluss. (IPA)