Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Modulare Fertigungszelle fuer fotolithographische Prozesse

 
: Mann, R.; Fruehauf, W.

Iee productronic (1988), No.5, pp.70
ISSN: 0722-6012
German
Journal Article
Fraunhofer IPA ()
Fertigungskonzept; Fotolithographie; Kassettentransport; Modulsystem; Reinraum(lokal); SMIF

Abstract
Beschreibung des Flexiblen Fotolithographischen Prozesszentrums. Neues Fertigungskonzept fuer die Halbleiterproduktion. Modularisiertes Geraetesystem mit Schnelltauschmoeglichkeit einzelner Prozessmodule. Modularisiertes Medienver-/Entsorgungssystem mit Medienschnellkopplung. Einsatz lokaler Reinraeume mit SMIF-Schnittstellen. Die Module koennen als Einzelgeraet betrieben werden, zu Prozesszellen zusammengefuegt und ueber Boxentransporteinheiten miteinander zu einer vollautomatischen Fertigungslinie verkettet werden. Ein neues Handhabungskonzept bringt hoechste Flexibilitaet im Materialfluss. (IPA)

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-24791.html