Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Modelling of the effect of corner undercutting in wet silicon anisotropic etching

 
: Trieu, H.-K.; Mokwa, W.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Annual report 1997
Duisburg: IMS, 1998
ISSN: 1435-0874
pp.18-20
English
Book Article
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-24653.html