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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Modelling of the effect of corner undercutting in wet silicon anisotropic etching
| Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Annual report 1997
Duisburg: IMS, 1998
ISSN: 1435-0874
pp.18-20 |
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