Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Minireticle für die Elektronenstrahllithographie
| Verein Deutscher Ingenieure e.V. -VDI-, Düsseldorf:
Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile '95. Tagungsband
Düsseldorf: VDI-Verlag, 1995
ISBN: 3-18-091243-X
pp.97-112 |
| Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile <1995, München> |
|
| German |
| Conference Paper |
| Fraunhofer ISIT () |