Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mikrosystemtechnik. Entwicklungsstand und Marktumsetzung

 
: Mokwa, W.

Barke, E. ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik -GME-:
Mikroelektronik '95 : Vorträge der GME-Fachtagung
Berlin: VDE-Verlag, 1995 (GME-Fachbericht 15)
ISBN: 3-8007-2085-X
pp.23
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik (Fachtagung) <1995, Baden-Baden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IMS ()
Mikromechanik; Mikrosystemtechnik; silicium

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-24172.html