Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Mikrosystemtechnik. Entwicklungsstand und Marktumsetzung
| Barke, E. ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik -GME-:
Mikroelektronik '95 : Vorträge der GME-Fachtagung
Berlin: VDE-Verlag, 1995 (GME-Fachbericht 15)
ISBN: 3-8007-2085-X
pp.23 |
| VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik (Fachtagung) <1995, Baden-Baden> |
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| German |
| Conference Paper |
| Fraunhofer IMS () |
| Mikromechanik; Mikrosystemtechnik; silicium |