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Konferenzschrift
Mikrosystemtechnik. Entwicklungsstand und Marktumsetzung
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1995
Conference Paper
Title
Mikrosystemtechnik. Entwicklungsstand und Marktumsetzung
Author(s)
Mokwa, W.
Mainwork
Mikroelektronik '95
Conference
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik (Fachtagung) 1995
Language
German
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Keyword(s)
Mikromechanik
Mikrosystemtechnik
silicium
