: Warnecke, H.-J.

Abstract
Die Mikrosystemtechnik ist dabei, viele Bereiche der Industrie auf ähnliche Weise zu revolutionieren wie schon seit einiger Zeit die Mikroelektronik. Die in den Mikrosystemen integrierten mechanischen Aktuatoren, Sensoren und elektronischen Komponenten erledigen heute, wofür vor einigen Jahren noch eine ganze Reihe von umständlichen Apparaten und Verfahren eingesetzt werden mußten.