Mikrostrukturen aus neuen Materialien: Entwicklung der Verfahrens- und Anlagentechnik

Die Mikrosystemtechnik ist zur Zeit eine der innovativsten Technologien mit großen Entwicklungs- und Anwendungspotentialen. Sie ist eine Fortentwicklung sowohl der klassischen Feinwerktechnik als auch der Mikroelektronik. Überall dort, wo Miniaturisierung technisch Sinn macht, werden in naher Zukunft Mikrostrukturprodukte eingesetzt. Von dem damit ausgelösten Technologieschub wird eine mit der Technologiewelle der Mikroelektronik vergleichbare Wirkung auf die Wettbewerbsfähigkeit ganzer Industriezweige erwartet.