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Mikrospiegelanordnungen in CMOS-kompatibler Oberflächenmikromechanik
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1996
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Titel
Mikrospiegelanordnungen in CMOS-kompatibler Oberflächenmikromechanik
Author(s)
Doleschal, W.
Gehner, A.
Kück, A.
Paufler, J.
Seltmann, R.
Hauptwerk
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 1995
Language
German
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IMS2