Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Mikrosensorik - Überblick, Trends, Sicherheitsaspekte

 
: Drost, S.; Sandmaier, H.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik -GME-:
Tagungsband der GME-Fachtagung Mikroelektronik und Sicherheit
1990
GME-Fachtagung "Mikroelektronik und Sicherheit" <1990, Essen>
German
Conference Paper
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Mikrosensorik; Sicherheit; Überwachung

Abstract
Der Stand der Technik und die Vorteile, die Miniaturisierungstechniken bieten, werden näher erläutert. Am Beispiel mikromechanischer Sensoren zur Messung physikalischer und chemischer Größen werden innovative Konzepte sowie Beispiele zukünftiger mikromechanischer Systeme, die neben den detektierenden Elementen auch elektronische Komponenten zur Signalaufbereitung aufweisen, vorgestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-24146.html