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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Mikrosensoren beweisen Stärke. Die neuesten Trends in der Mikrosystemtechnik
 
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1992
Journal Article
Title

Mikrosensoren beweisen Stärke. Die neuesten Trends in der Mikrosystemtechnik

Abstract
Die Erwartungen an die Mikrosystemtechnik sind gleichbleibend hoch, obwohl heute jedem klar sein sollte, daß der Mikroroboter, der selbstätig Wartungs- und Reinigungsarbeiten durchführen kann, sich in absehbarer Zeit nicht realisieren lassen wird. Dennoch gibt es in der Sensortechnik eine Reihe interessanter Anwendungen für diesen Zweig der Hochtechnologie.
Author(s)
Mokwa, W.
Journal
Konstruktion und Elektronik  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS  
Keyword(s)
  • Drucksensor

  • Mikrosystemtechnik

  • Oberfläche

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