English
Deutsch
Log In
Password Login
or
Log in with Fraunhofer Smartcard
Research Outputs
Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Artikel
Mikromechanische Bauteile hergestellt durch UV-Lithographie und Mikrogalvanik
Details
Full
Export
Statistics
Options
1997
Journal Article
Titel
Mikromechanische Bauteile hergestellt durch UV-Lithographie und Mikrogalvanik
Author(s)
Löchel, B.
John, L.-G.
Zeitschrift
VTE
Language
German
google-scholar
View Details
Fraunhofer-Institut fĂĽr Siliziumtechnologie ISIT