Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mikrofabrikationstechniken für die Mikrosytemtechnik

Microfabrication technologies for microsystem technology
 
: Großer, V.; Hillmann, V.; Reichl, H.

Michel, B.; Winkler, T. ; Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V. -DVM-, Arbeitskreis Mikrosystemtechnik:
Micro Materials, Micro Mat 1995. Proceedings : Werkstofforschung, Werkstoffprüfung, Werkstoffeinsatz in der Mikrosystemtechnik, 28. - 29.11.1995, Berliner Congress Center, BCC
Berlin: DVM, 1995
pp.597-598
Conference Micro Materials (Micro Mat) <1, 1995, Berlin>
German
Conference Paper
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-24091.html