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Mikrofab - Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme

	Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart: Produktionstechnik für Mikrosysteme : IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart Stuttgart: Fraunhofer IPA, 1996 pp.1-4
	Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Seminar) <1996, Stuttgart>

	German
	Conference Paper
	Fraunhofer IPA ()
	Fertigung; MikroFab; Mikrofabrikationstechnik; Mikrosystem