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Konferenzschrift
Mikrofab - Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme
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1996
Conference Paper
Title
Mikrofab - Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme
Author(s)
Schünemann, M.
Grimme, R.
Schwaab, G.
Schäfer, W.
Mainwork
Produktionstechnik für Mikrosysteme
Conference
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Seminar) 1996
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA
Keyword(s)
Fertigung
MikroFab
Mikrofabrikationstechnik
Mikrosystem
