Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Mikroelektronik und Reinraumtechnik

 
: Ryssel, H.

Schweizerische Gesellschaft für Reinraumtechnik:
Schriftenreihe SRRT, Reinraumtechnik
1986 (Schriftenreihe der Schweizerischen Gesellschaft für Reinraumtechnik 8)
pp.34
Schweizerische Gesellschaft für Reinraumtechnik (Frühjahrstagung) <1986, Zürich>
German
Conference Paper
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()
Mikroelektronik; Reinraumtechnik

Abstract
In diesem Beitrag wird der Einfluss der Reinraumtechnik auf die Ausbeute bei der Fertigung von Halbleiterbauelementen besprochen, und die Anforderungen an die Reinraumtechnik aus der Sicht der Halbleitertechnologie werden behandelt. Im weiteren werden moegliche Konzepte fuer zukuenftige Entwicklungen mit noch strikteren Anforderungen an die Qualitaet der Reinheit der Arbeitsplaetze diskutiert, da hoehere Partikelfreiheit fuer die naechste Generation integrierter Schaltungen (Ultra Large Scale Integration (ULSI) eine unumgaengliche Voraussetzung sein wird.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-24084.html