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1995
Book Article
Titel
Ein Mikroelektronik-System für fluide Messungen in Blutgefäßen
Abstract
Seit Jahrzehnten werden elektrischen Eigenschaften von Silizium in der Massenproduktion von Halbleiter ICs extensiv genutzt. Die physikalischen Eigenschaften des Siliziums können dazu benutzt werden, die unterschiedlichsten Sensorelemente zu realisieren. Die CMOS-Technologie setzt sich immer mehr als eine Technik nicht nur für digitale sondern auch für analoge Schaltungen höherer Komplexität durch. Es ist daher erstrebenswert, bei der Implementierung von Mikrosystemen solche Sensoren zu entwickeln und einzusetzten, die kompatibel zu einer Standard-CMOS-Technologie sind. Der hohe Miniaturisierungsgrad solcher Systeme macht sie für Anwendungen im Bereich der Medizin besonders interessant. Die Überwachung verschiedener Blutparameter ist von großer Bedeutung. Der vorgestellte multifunktionale Sensorkatheter vereint Sensoren für eine Vielzahl von Parametern mit on-Chip Auswerteelektronik in einer Baugröße, die seinen Einsatz als Meßsystem für intravasale Blutwerteüberwachung ermöglicht.