Mikro-Computer-Tomographie zur Prüfung neuer Werkstoffe

Medizinische und industrielle CT-Anlagen benutzen diskrete, impulszählende oder stromintegrierende Röntgendetektoren, die in einer Linie oder einem Kreissegment angeordnet sind. Die CT-Systeme liefern Abbildungen der röntgenographischen Dichteverteilung von Querschnitten mit Auflösungen bis maximal einige o,1 mm. Werkstoffe und Bauteile der Mikrotechnik benötigen jedoch zfP-Verfahren mit einer geometrischen Auflösung deutlich besser als 100 fm. Spezielle hochauflösende CT-Systeme sind erforderlich für den Nachweis und die Auflösung von derart kleinen Fehlern in mikromechanischen und mikroelektronischen Bauteilen und im Werkstoffgefüge. Im folgenden werden einige wesentliche Aspekte der hochauflösenden CT vorgestellt.