Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Microfabrication techniques for microsystems - mu m Fab - and first practical experience

 
: Grosser, V.; Hillmann, V.; Reichl, H.; Grimme, R.

Reichl, H.; Heuberger, A. ; MESAGO Messe Frankfurt GmbH, Stuttgart; Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin:
Micro System Technologies '96 : 5th International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, September 17 - 19, 1996
Berlin: VDE-Verlag, 1996
ISBN: 3-8007-2200-3
pp.549-554
International Conference on Micro-, Electro-, Opto-, Mechanical Systems and Components <5, 1996, Potsdam>
English
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Fertigung; Flexibilität; Kleinbetrieb; MicroFab; MikroFab; Mikrofabrikationstechnik; Mikrosystem; Mikrotechnik; Mittelbetrieb

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-23928.html