Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Microfabrication of complex surface topographies using gray-tone lithography

 
: Wagner, B.; Quenzer, H.J.; Henke, W.; Hoppe, W.; Pilz, W.

:

Sensors and Actuators. A 46/47 (1995), pp.89-94
ISSN: 0924-4247
English
Journal Article
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-23926.html