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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. MGS, Generierung von Ansteuerdaten für ZBA-ebeam Schreiber
| Verein Deutscher Ingenieure e.V. -VDI-, Düsseldorf:
Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile '94. Tagungsband
Düsseldorf: VDI-Verlag, 1994 (VDI-Berichte 1172)
ISBN: 3-18-091172-7
pp.35-53 |
| Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile <1994, München> |
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| German |
| Conference Paper |
| Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) () |
| DV; E-Beam Schreiber; Lithographie; Mikroelektronik; Mikrotechnik; Portabilität; software |
Abstract
MGS (Mask data Generation System) ist ein Softwarepaket zur Generierung von Ansteuerdaten für die E-Beam Schreiber der Typen ZBAxx. Die Anforderungen, die sich aus der Erhöhung des Integrationsgrades in der Mikroelektronik, der Ausdehnung der Miniaturisierung auf immer neue Gebiete und der Funktionsweise der E-Beam Schreiber an die Software ergeben, werden aufgezeigt. Es wird dargestellt, wie im MGS versucht wird, diesen Anforderungen gerecht zu werden.