MGS, Generierung von Ansteuerdaten für ZBA-ebeam Schreiber

MGS (Mask data Generation System) ist ein Softwarepaket zur Generierung von Ansteuerdaten für die E-Beam Schreiber der Typen ZBAxx. Die Anforderungen, die sich aus der Erhöhung des Integrationsgrades in der Mikroelektronik, der Ausdehnung der Miniaturisierung auf immer neue Gebiete und der Funktionsweise der E-Beam Schreiber an die Software ergeben, werden aufgezeigt. Es wird dargestellt, wie im MGS versucht wird, diesen Anforderungen gerecht zu werden.