Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Meßtechnik in der Sauber- und Reinstfertigung

	GIT. Labor-Fachzeitschrift 43 (1999), No.3, pp.278-283 ISSN: 0016-3538

	German
	Journal Article
	Fraunhofer IPA ()
	Fertigung; Kontaminationskontrolle; Messen; Prozeßoptimierung; Reinheitszustand; Reinraum; Reinstproduktion; Sauberfertigung

Abstract
Der vorliegende Beitrag behandelt ausgewählte meßtechnische Anwendungen, wie sie zur Darstellung und Sicherung des Reinheitszustandes von Produkten und deren Produktionsumfeld, aber auch zur Qualitäts- und Prozeßoptimierung in Frage kommen. Die zu kontrollierenden Parameter sind produktspezifisch.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-23591.html