Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Meßtechnik im Reinraum

Measurement techniques in clean productions
 
: Ernst, C.

Dorner, J. ; Technische Akademie Esslingen -TAE-:
Produzieren unter reinen Bedingungen: Grundlagen, Maßnahmen zur Qualitätssicherung und Trends : Lehrgang, 17. März 1998, Ostfildern
Esslingen: Technische Akademie Esslingen, 1998
Lehrgang Produzieren unter Reinen Bedingungen <1998, Ostfildern>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Kontamination; Kontaminationskontrolle; Reinheit; Reinheitsspezifikation; Reinraum; Spurenverunreinigung; Teilchen; Überwachung; Verunreinigung

Abstract
Reinheitsanforderungen und -kontrollen sind produktabhängig. Reinheitskontrollen können das Produkt, dessen Umgebung sowie Medien und Prozesse betreffen. Je nach Anforderungen müssen einfache Meßmethoden und/oder aufwendigere Spurenanalytik angewandt werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-23590.html