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Konferenzschrift
Mehrlagenverdrahtung auf eingebetteten Chips für die Realisierung von High-Performnce MCMs
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1997
Conference Paper
Titel
Mehrlagenverdrahtung auf eingebetteten Chips für die Realisierung von High-Performnce MCMs
Author(s)
Gulde, P.
Neumann, G.
Hauptwerk
5. Zwickauer Automatisierungsforum 1997. Automatisierung, EMV, Mikrosystemtechnik. Tagungsband
Konferenz
Zwickauer Automatisierungsforum 1997
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT