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Patente
Maskierverfahren zur Herstellung periodischer Strukturen in einem Substrat mittels Ionenimplantation
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Title
Maskierverfahren zur Herstellung periodischer Strukturen in einem Substrat mittels Ionenimplantation
Date Issued
1979
Author(s)
Goetzberger, Adolf
Patent No
1974-2454714
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme ISE
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=2454714A
Patenprio
DE 1974-2454714 A: 19741119