Fraunhofer-Gesellschaft

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Magnetfeldsensorsystem in integrierter CMOS-Technologie

 

Sessler, G. ; Informationstechnische Gesellschaft -ITG-:
Sensoren, Technologie und Anwendung 1994. Vorträge der ITG-Fachtagung
Berlin: VDE-Verlag, 1994 (ITG-Fachbericht 126)
ISBN: 3-8007-1988-6
pp.435-440 : Lit.
Fachtagung Sensoren, Technologie und Anwendung <7, 1994, Bad Nauheim>
German
Conference Paper
Fraunhofer IMS ()
integriertes Sensorsystem; Magnetfeldsensor; magnetic fields; magnetisches Feld; microelectronics; Mikroelektronik; sensor system; Sensorsystem

Abstract
Vorgestellt wird ein hoch empfindliches Magnetfeldsensorsystem in CMOS-Technologie. Mit diesem Sensorsystem können differentielle Magnetfelder in der Größe des Erdmagnetfeldes erfaßt werden. Die hohe Empfindlichkeit wird mit einer Permalloy-Widerstandsbrücke erzielt, die durch einen zusätzlichen Prozeßschritt auf dem Chip hergestellt wird. Alle Komponenten zur analogen Signalverarbeitung sind im Sensorsystem integriert.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-22615.html