Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Low temperature silicon wafer bonding

 
: Benecke, W.; Quenzer, H.J.

Sensors and Actuators. A 32 (1992), No.1-3, pp.340-344
ISSN: 0924-4247
Eurosensors <5, 1991, Rom>
English
Conference Paper
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-22499.html