Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Low pressure silicon epitaxy.

Niederdruck-Siliziumepitaxie
 
: Krullmann, E.; Engl, W.L.

IEEE transactions on electron devices ED-29 (1982), No.4, pp.491-497 : Abb.,Lit.
ISSN: 0018-9383
English
Journal Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Epitaxie; Niederdrucksystem

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-22486.html