Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Lithography with high depth of focus by an ion projection system2

 
: Buchmann, L.-M.; Schnakenberg, U.; Torkler, M.; Löschner, H.; Stengl, G.; Traher, C.; Fallmann, W.; Stangl, G.; Cekan, E.

:

Journal of Microelectromechanical Systems 1 (1992), pp.116-120
ISSN: 1057-7157
ISSN: 1941-0158
English
Journal Article
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-22197.html