Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Laserverfahren zur Abscheidung dünner Schichten

 

Härterei-Technische Mitteilungen : HTM 52 (1997), No.4, pp.226-233
ISSN: 0017-6583
ISSN: 0341-101X
ISSN: 1867-2493
German
Journal Article
Fraunhofer IWS ()
Laser-Arc; PLD; CVD; Laser-Verfahren; Laserchemie

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-21756.html