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1988
Journal Article
Titel
Laserinduzierte Temperaturverteilung in dünnen Silizium-Membranen
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Abstract
Abstract
Mittels laserpyrolytischer Abscheidung von Metallen lassen sich fehlende Absorberstrukturen nachtraeglich auf Roentgenmasken auftragen. Die hierbei durch Absorption fokussierter Laserstrahlung (Ar+, 514 nm) in der Maskenmembran (Silizium) erzeugte Temperaturverteilung T(r) wurde berechnet. Zu diesem Zweck wurde eine inhomogene, 1-dimensionale radiale Waermeleitungsdifferentialgleichung analytisch geloest. Die Ueberpruefung der berechneten T(r) kann durch geeignete, auf die Membran aufgetragenen Temperaturindikatoren erfolgen. Ein weiterer, indirekter Temperaturnachweis ist die pyrolytische Abscheidung von W aus W(CO)6. In beiden Faellen koennen Abweichungen durch ein bei hoeheren Temperaturen beobachtetes Durchbiegen der Membran und einer dadurch bedingten Fokusaenderung erklaert werden. Desweiteren kann der Beginn der Abscheidung von W aus W(CO)6 erst bei Temperaturen erfolgen, die oberhalb der Zersetzungstemperatur der Substanz liegen. (IMT)